搜索结果: 1-15 共查到“传感器技术 MEMS”相关记录83条 . 查询时间(0.078 秒)
上海理工大学在ppb级MEMS气体传感器领域取得重要进展（图）
上海理工大 ppb级 MEMS 气体传感器 Nano Letters 三乙胺 半导体型
2024/10/14
近日，上海理工大学材料与化学学院王丁团队在MEMS气体传感领域取得重要进展，相关研究成果以“Ultrafast and Parts-per-Billion-Level MEMS Gas Sensors by Hetero Interface Engineering of 2D/2D Cu-TCPP@ZnIn2S4 with Enriched Surface Sulfur Vacancie...
南京理工大学成果：MEMS惯性传感器设计与工艺（图）
南京理工大 MEMS 惯性传感器
2024/10/14
针对高精度、高性能MEMS加速度计、陀螺仪的全国产化设计与制造需求，在高精度、高性能加速度计、陀螺仪的结构设计、晶圆级制造工艺检测、先进封装、专用集成电路等方面开展研究，突破了全自主、全国产中高端MEMS惯性器件流片工艺，核心指标接近甚至部分超越国际主流产品，解决“卡脖子”问题。主要产品及技术参数如下：1）MEMS陀螺仪：具有<1%地球转速分辨能力，定向精度优于1°，零偏不稳定性及寻北精度接近以H...
近日，厦门市敬微精密科技有限公司（简称：敬微精密）基于MEMS工艺技术研制的CYH1454606型深海用压力传感器（以下简称CYH1454606型深海传感器）成功完成千米海试，各项指标比肩业界通用的进口传感器，实现卡脖子技术重大突破。
中国工程院院士蒋庄德：打破国外MEMS技术垄断，为中国智造打好基础（图）
蒋庄德 MEMS 智造 技术垄断
2024/10/15
近日，重庆电视台《重庆专访》栏目，对话中国工程院院士、西安交通大学教授蒋庄德，看他们如何打破国外MEMS技术垄断，为中国智能制造打好基础。
MEMS压力传感器的原理与应用
MEMS 压力传感器 微电子 机械系统
2024/10/17
MEMS是Micro Electro Mechanical systems的缩写，即微电子机械系统。MEMS技术被誉为21世纪具有革命性的高新技术之一，可追溯至20世纪50年代。微电子机械系统(MEMS)技术是指对微米/纳米材料进行设计、制造、测量和控制的技术。MEMS压力传感器是利用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、键合等技术)相结合的制造工艺，制造的压力传感器。MEMS压力...
MEMS麦克风（Micro-Electro-Mechanical Systems Microphone）是一种基于微机械结构的声学传感器，它的工作原理涉及到微小的机械振动和与之相关的电学信号转换。以下是MEMS麦克风的简要工作原理：振膜感应振动；振膜与电极之间的空气隙缝变化；电容的变化；电极之间的电流变化；模数转换，通过这些过程，MEMS麦克风将声音信号转换为电学信号，从而实现声音的捕捉和传递。M...
上海微系统所在IEEE MEMS 2024国际会议中再创佳绩（图）
微纳传感器 微纳加工 集成
2023/12/2
MEMS是当今微纳传感器制造的主流技术，该领域规模最大的国际顶级学术会议IEEE MEMS（IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems），每年一届在美洲、欧洲和亚洲轮流举行，至今已举办36届。该会议是微机电系统领域最高级别的国际学术会议，主要报道微纳加工与集成、微纳传感器与执行器、以及微系统等方面的研究新进展。
微机电系统（MEMS）器件具有小型化、低成本、可批量生产的特点，在消费电子、汽车电子、航空航天、医疗器械和工业控制等多个领域的广泛应用，使得其在现代社会中发挥着重要作用。随着科技的进步，各领域对MEMS器件性能的要求越来越严格。因此，MEMS相关研究的主要目标是开发出性能更好的器件。近日，中国科学院空天信息创新研究院传感技术国家重点实验室联合中国科学院大学电子电气与通信工程学院的研究人员提出了一种...
合肥工业大学微电子学院MEMS智能传感器方向研究领域包括MEMS传感器设计、RF MEMS、多传感器模块集成与信息融合技术、传感器可靠性研究等。近五年承担的科研项目包括国家重点研发、国家自然科学基金、装备预研、安徽省发改委创新研发专项、安徽省重点研发以及企业委托研发类项目。依托安徽省MEMS工程技术研究中心和安徽省MEMS核心器件产业创新中心，组建了具备MEMS设计、工艺、封测与装备试验能力的特色...
近日，国家重点研发计划“智能传感器”重点专项“MEMS超声换能器元件及传感器”项目启动暨实施方案论证会在重庆大学顺利召开。该项目由珂纳医疗科技(苏州)有限公司牵头，联合重庆大学、浙江大学、哈尔滨工业大学、西安交通大学、中北大学、华东光电集成器件研究所、中科院微电子所、机械工业仪器仪表综合技术经济研究所和杭州娃哈哈精密机械有限公司进行协同攻关。
中国科学院声学研究所专利：一种MEMS电容式加速度计接口电路
振动能量采集器因其可代替电池，收集环境中振动能为IOT设备提供能源，近年来受到广泛关注。而在IOT设备应用的典型场景-工业环境中，高温度及高湿度极端环境无处不在。静电型振动能量采集器内部预充电电荷受极端环境影响容易衰减，这对能量采集器的大规模应用造成极大挑战。针对这一问题，南方科技大学深港微电子学院汪飞副院长率领团队研发了一款基于MEMS技术制造的，集成了硅针尖阵列的电荷可修复型静电能量采集器。当...
“新型半导体与MEMS传感器技术”专题学术交流活动（图）
传感器技术 学术交流 半导体
2023/8/8
2022年5月，团队负责人赵立波教授带领团队成员景蔚萱教授、王久洪研究员、田边教授和韦学勇教授与林启敬副研究员等前往中国航空研究院631所进行了参观，双方就智能传感产业创新中心的合作进行了深入探讨和交流。
近日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员李昕欣团队采用基于MEMS芯片的气相原位透射电镜（TEM）表征技术，探究了Pd-Ag合金纳米颗粒催化剂在MEMS氢气传感器工况条件下的失效机制（图1）。2022年4月13日，相关研究成果作为Supplementary Cover论文，以In Situ TEM Technique Revealing the Deactivation Mechanism...
基于宽禁带氧化物半导体薄膜材料的MEMS传感器研发（图）
宽禁带氧化物半导体薄膜材料 MEMS传感器
2022/5/30
2021年12月第一届全国博士后创新创业大赛在广东省佛山市举办，中山大学博士后青年英才积极组队参加，展现了中山大学博士后队伍建设的蓬勃气象。本届大赛以“博采科技精华 创新引领未来”为主题，共设创新赛、创业赛、海外（境外）赛和揭榜领题赛等四个组别，约1400个项目以路演和答辩为主要展示形式，线下现场赛和线上云参赛相结合，经过3天的激烈角逐，我校代表团共获得1个银奖、3个铜奖、8个优胜奖的好成绩。